Module also offered within study programmes:
General information:
Name:
Mikrotechnologie materiałowe
Course of study:
2017/2018
Code:
CIM-2-103-MN-s
Faculty of:
Materials Science and Ceramics
Study level:
Second-cycle studies
Specialty:
Mikro i nanotechnologie materiałowe
Field of study:
Materials Science
Semester:
1
Profile of education:
Academic (A)
Lecture language:
Polish
Form and type of study:
Full-time studies
Course homepage:
 
Responsible teacher:
prof. dr hab. inż. Wojciechowski Krzysztof (wojciech@agh.edu.pl)
Academic teachers:
prof. dr hab. inż. Wojciechowski Krzysztof (wojciech@agh.edu.pl)
Module summary

Description of learning outcomes for module
MLO code Student after module completion has the knowledge/ knows how to/is able to Connections with FLO Method of learning outcomes verification (form of completion)
Knowledge
M_W001 Zna fizyczne i chemiczne technologie osadzania cienkich warstw Examination
M_W002 Zna technologie wytwarzania sensorów IM2A_W02 Examination
M_W003 Zna metody litograficzne stosowane w technologiach materiałowych IM2A_W02 Examination
M_W004 Zna metody MEMS wytwarzania elementów mikroeletromechanicznych IM2A_W02 Examination
FLO matrix in relation to forms of classes
MLO code Student after module completion has the knowledge/ knows how to/is able to Form of classes
Lecture
Audit. classes
Lab. classes
Project classes
Conv. seminar
Seminar classes
Pract. classes
Zaj. terenowe
Zaj. warsztatowe
Others
E-learning
Knowledge
M_W001 Zna fizyczne i chemiczne technologie osadzania cienkich warstw + - - - - + - - - - -
M_W002 Zna technologie wytwarzania sensorów + - - - - + - - - - -
M_W003 Zna metody litograficzne stosowane w technologiach materiałowych + - - - - + - - - - -
M_W004 Zna metody MEMS wytwarzania elementów mikroeletromechanicznych + - - - - + - - - - -
Module content
Lectures:
Mikrotechnologie materiałowe

Litografia optyczna, elektronowa, jonowa, fizyczne i chemiczne metody osadzania materiałów z fazy gazowej, metoda PA PVD, technologia wiązki elektronowej, technologia magnetronowa, PAPVD-Arc – niskociśnieniowe wyładowanie łukowe, technologia hybrydowa i łukowo-magnetronowa ABS, chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym, techniki VPE (Vapour Phase Epitazy) i LCVD (Laser CVD), układy mikroelektromechaniczne MEMS, mikrotechnologie materiałowe,Technologie wytwarzania elementów termoelektrycznych do celów chłodzenia i konwersji energii. Metody charakterystyki właściwości cieplnych i elektrycznych elementów.

Seminar classes:
Mikrotechnologie materiałowe

Techniki wytwarzania tradycyjnych i nowych materiałów dla potrzeb mikro i nanourządzeń, dla różnych zastosowań, wytwarzanie systemów mikroelektro-mechanicznych MEMS, NEMS, BIOMEMS, technologie mikroprodukcyjne, micromachining, czujniki i przetworniki, materiały pamięciowe, metody badawcze materiałów i urządzeń w mikro- i nano- skali.

Student workload (ECTS credits balance)
Student activity form Student workload
Summary student workload 60 h
Module ECTS credits 2 ECTS
Examination or Final test 4 h
Realization of independently performed tasks 7 h
Preparation of a report, presentation, written work, etc. 8 h
Participation in lectures 15 h
Participation in seminar classes 15 h
Preparation for classes 8 h
Contact hours 2 h
Completion of a project 1 h
Additional information
Method of calculating the final grade:

Średnia arytmetyczna z egzaminu i seminariów.

Prerequisites and additional requirements:

ukończony podstawowy kurs chemii fizycznej lub fizyki

Recommended literature and teaching resources:

1. Roman Pampuch, Współczesne materiały ceramiczne, AGH, 2005,ISBN: 83-7464-007-3
2. Dobrzański Leszek, Materiały inżynierskie i projektowanie materiałowe, WNT – Wydawnictwa Naukowo-Techniczne,2006, ISBN-10: 83-204-3249-9
3. Gustavo A. Rivas et.al., Ceramics Processing In Microtechnology, Whittles Publishing 2009, ISBN-10: 1904445845 ISBN-13: 978-190444584-5
4. A. Arsenault, Nanochemistry, Royal Society Of Chemistry, 2008,ISBN-10: 184755895X

Scientific publications of module course instructors related to the topic of the module:

Additional scientific publications not specified

Additional information:

None