Moduł oferowany także w ramach programów studiów:
Informacje ogólne:
Nazwa:
Mikrotechnologie materiałowe
Tok studiów:
2018/2019
Kod:
CIM-2-103-MN-s
Wydział:
Inżynierii Materiałowej i Ceramiki
Poziom studiów:
Studia II stopnia
Specjalność:
Zaawansowane Materiały Ceramiczne
Kierunek:
Inżynieria Materiałowa
Semestr:
1
Profil kształcenia:
Ogólnoakademicki (A)
Język wykładowy:
Polski
Forma i tryb studiów:
Stacjonarne
Strona www:
 
Osoba odpowiedzialna:
prof. dr hab. inż. Wojciechowski Krzysztof (wojciech@agh.edu.pl)
Osoby prowadzące:
prof. dr hab. inż. Wojciechowski Krzysztof (wojciech@agh.edu.pl)
Krótka charakterystyka modułu

Opis efektów kształcenia dla modułu zajęć
Kod EKM Student, który zaliczył moduł zajęć wie/umie/potrafi Powiązania z EKK Sposób weryfikacji efektów kształcenia (forma zaliczeń)
Wiedza
M_W001 Zna fizyczne i chemiczne technologie osadzania cienkich warstw Egzamin
M_W002 Zna technologie wytwarzania sensorów IM2A_W02 Egzamin
M_W003 Zna metody litograficzne stosowane w technologiach materiałowych IM2A_W02 Egzamin
M_W004 Zna metody MEMS wytwarzania elementów mikroeletromechanicznych IM2A_W02 Egzamin
Matryca efektów kształcenia w odniesieniu do form zajęć
Kod EKM Student, który zaliczył moduł zajęć wie/umie/potrafi Forma zajęć
Wykład
Ćwicz. aud
Ćwicz. lab
Ćw. proj.
Konw.
Zaj. sem.
Zaj. prakt
Zaj. terenowe
Zaj. warsztatowe
Inne
E-learning
Wiedza
M_W001 Zna fizyczne i chemiczne technologie osadzania cienkich warstw + - - - - + - - - - -
M_W002 Zna technologie wytwarzania sensorów + - - - - + - - - - -
M_W003 Zna metody litograficzne stosowane w technologiach materiałowych + - - - - + - - - - -
M_W004 Zna metody MEMS wytwarzania elementów mikroeletromechanicznych + - - - - + - - - - -
Treść modułu zajęć (program wykładów i pozostałych zajęć)
Wykład:
Mikrotechnologie materiałowe

Litografia optyczna, elektronowa, jonowa, fizyczne i chemiczne metody osadzania materiałów z fazy gazowej, metoda PA PVD, technologia wiązki elektronowej, technologia magnetronowa, PAPVD-Arc – niskociśnieniowe wyładowanie łukowe, technologia hybrydowa i łukowo-magnetronowa ABS, chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym, techniki VPE (Vapour Phase Epitazy) i LCVD (Laser CVD), układy mikroelektromechaniczne MEMS, mikrotechnologie materiałowe,Technologie wytwarzania elementów termoelektrycznych do celów chłodzenia i konwersji energii. Metody charakterystyki właściwości cieplnych i elektrycznych elementów.

Zajęcia seminaryjne:
Mikrotechnologie materiałowe

Techniki wytwarzania tradycyjnych i nowych materiałów dla potrzeb mikro i nanourządzeń, dla różnych zastosowań, wytwarzanie systemów mikroelektro-mechanicznych MEMS, NEMS, BIOMEMS, technologie mikroprodukcyjne, micromachining, czujniki i przetworniki, materiały pamięciowe, metody badawcze materiałów i urządzeń w mikro- i nano- skali.

Nakład pracy studenta (bilans punktów ECTS)
Forma aktywności studenta Obciążenie studenta
Sumaryczne obciążenie pracą studenta 60 godz
Punkty ECTS za moduł 2 ECTS
Egzamin lub kolokwium zaliczeniowe 4 godz
Samodzielne studiowanie tematyki zajęć 7 godz
Przygotowanie sprawozdania, pracy pisemnej, prezentacji, itp. 8 godz
Udział w wykładach 15 godz
Udział w zajęciach seminaryjnych 15 godz
Przygotowanie do zajęć 8 godz
Dodatkowe godziny kontaktowe z nauczycielem 2 godz
Wykonanie projektu 1 godz
Pozostałe informacje
Sposób obliczania oceny końcowej:

Średnia arytmetyczna z egzaminu i seminariów.

Wymagania wstępne i dodatkowe:

ukończony podstawowy kurs chemii fizycznej lub fizyki

Zalecana literatura i pomoce naukowe:

1. Roman Pampuch, Współczesne materiały ceramiczne, AGH, 2005,ISBN: 83-7464-007-3
2. Dobrzański Leszek, Materiały inżynierskie i projektowanie materiałowe, WNT – Wydawnictwa Naukowo-Techniczne,2006, ISBN-10: 83-204-3249-9
3. Gustavo A. Rivas et.al., Ceramics Processing In Microtechnology, Whittles Publishing 2009, ISBN-10: 1904445845 ISBN-13: 978-190444584-5
4. A. Arsenault, Nanochemistry, Royal Society Of Chemistry, 2008,ISBN-10: 184755895X

Publikacje naukowe osób prowadzących zajęcia związane z tematyką modułu:

Nie podano dodatkowych publikacji

Informacje dodatkowe:

Brak