Module also offered within study programmes:
General information:
Name:
Otrzymywanie tworzyw metodą krystalizacji z fazy gazowej
Course of study:
2019/2020
Code:
CIMT-2-311-MF-s
Faculty of:
Materials Science and Ceramics
Study level:
Second-cycle studies
Specialty:
-
Field of study:
Materials Science
Semester:
3
Profile of education:
Academic (A)
Lecture language:
Polish
Form and type of study:
Full-time studies
Course homepage:
 
Responsible teacher:
dr hab. inż. Kluska Stanisława (kluska@agh.edu.pl)
Module summary

Moduł ma na celu zapoznanie się z chemicznymi i fizycznymi technikami otrzymywania tworzyw w postaci cienkich warstw i powłok. Zaprojektowanie układów cienkowarstwowych spełniających konkretne oczekiwania. Omawiane są: chemiczne i fizyczne techniki otrzymywania warstw z fazy gazowej i ich dogłębna charakterystyka, modyfikacja powierzchni metodami plazmochemicznymi, infiltracja, metody badań cienkich warstw. Zastosowanie cienkich warstw i układów warstwowych w różnych gałęziach przemysłu.

Description of learning outcomes for module
MLO code Student after module completion has the knowledge/ knows how to/is able to Connections with FLO Method of learning outcomes verification (form of completion)
Social competence: is able to
M_K001 Poznanie znaczenia wpływu chemii na rozwój nowoczesnych technologii Execution of laboratory classes,
Completion of laboratory classes
M_K002 Potrafi sprecyzować swoje zainteresowania, ocenić umiejętności i wykorzystać je w pracy zespołowej Execution of laboratory classes,
Completion of laboratory classes
Skills: he can
M_U001 Potrafi zaplanować pomiary i eksperymenty, wykonać je i przeprowadzić ich analizę Execution of laboratory classes,
Completion of laboratory classes
M_U002 Potrafi posługiwać się wiedzą chemiczną dla realizacji i kontroli procesu osadzania warstw Execution of laboratory classes,
Completion of laboratory classes
Knowledge: he knows and understands
M_W001 Ma ogólną wiedzę z zakresu technologii chemicznej Execution of laboratory classes,
Completion of laboratory classes
M_W002 Ma poszerzoną wiedzę z zakresu badań fizykochemicznych, materiałów w postaci cienkich warstw i powłok Execution of laboratory classes,
Completion of laboratory classes
Number of hours for each form of classes:
Sum (hours)
Lecture
Audit. classes
Lab. classes
Project classes
Conv. seminar
Seminar classes
Pract. classes
Zaj. terenowe
Zaj. warsztatowe
Prace kontr. przejść.
Lektorat
30 0 0 0 0 0 30 0 0 0 0 0
FLO matrix in relation to forms of classes
MLO code Student after module completion has the knowledge/ knows how to/is able to Form of classes
Lecture
Audit. classes
Lab. classes
Project classes
Conv. seminar
Seminar classes
Pract. classes
Zaj. terenowe
Zaj. warsztatowe
Prace kontr. przejść.
Lektorat
Social competence
M_K001 Poznanie znaczenia wpływu chemii na rozwój nowoczesnych technologii - - - - - + - - - - -
M_K002 Potrafi sprecyzować swoje zainteresowania, ocenić umiejętności i wykorzystać je w pracy zespołowej - - - - - + - - - - -
Skills
M_U001 Potrafi zaplanować pomiary i eksperymenty, wykonać je i przeprowadzić ich analizę - - - - - + - - - - -
M_U002 Potrafi posługiwać się wiedzą chemiczną dla realizacji i kontroli procesu osadzania warstw - - - - - + - - - - -
Knowledge
M_W001 Ma ogólną wiedzę z zakresu technologii chemicznej - - - - - + - - - - -
M_W002 Ma poszerzoną wiedzę z zakresu badań fizykochemicznych, materiałów w postaci cienkich warstw i powłok - - - - - + - - - - -
Student workload (ECTS credits balance)
Student activity form Student workload
Summary student workload 60 h
Module ECTS credits 2 ECTS
Udział w zajęciach dydaktycznych/praktyka 30 h
Preparation for classes 20 h
przygotowanie projektu, prezentacji, pracy pisemnej, sprawozdania 10 h
Module content
Seminar classes (30h):

Zajęcia seminaryjne
Na zajęciach seminaryjnych podstawą jest prezentacja multimedialna i ustna dotycząca tematyki materiałów otrzymanych metodami chemicznymi i fizycznymi w postaci warstw na różnorodnych podłożach oraz badania ich właściwości. Metody badawcze stosowane do określania własności materiałów w postaci cienkich warstw. Infiltracja porowatych materiałów. Modyfikacja powierzchni polimerów metodami plazmochemicznymi. Zastosowanie cienkich warstw w różnych gałęziach przemysłu.
Ćwiczenia laboratoryjne
1.Otrzymywanie warstw a-C:H, a-C:N:H, SiCxNy(H), a-SiNx(H),a-SiC(H) na podłożach (001)Si, szkło kwarcowe, tytan, polimery metodami MWCVD-RFCVD.
2.Badanie składu chemicznego warstw oraz ich struktury.
3.Pomiary chropowatości warstw (wyznaczanie parametrów Ra,Rz,Rk).
4. Modyfikacja podłoży polimerowych -trawienie jonowe w różnych atmosferach gazowych.

Additional information
Teaching methods and techniques:
  • Seminar classes: Na zajęciach seminaryjnych podstawą jest prezentacja multimedialna oraz ustna prowadzona przez studentów. Kolejnym ważnym elementem kształcenia są odpowiedzi na powstałe pytania, a także dyskusja studentów nad prezentowanymi treściami.
Warunki i sposób zaliczenia poszczególnych form zajęć, w tym zasady zaliczeń poprawkowych, a także warunki dopuszczenia do egzaminu:

Opracowanie jednej z technik otrzymywania materiałów w postaci cienkich warstw i powłok. Przedstawienie prezentacji multimedialnej oraz ustnej. Czynny udział w dyskusji na temat prezentowanych zagadnień.
Udział w laboratorium.

Participation rules in classes:
  • Seminar classes:
    – Attendance is mandatory: Yes
    – Participation rules in classes: Studenci prezentują na forum grupy temat wskazany przez prowadzącego oraz uczestniczą w dyskusji nad tym tematem. Ocenie podlega zarówno wartość merytoryczna prezentacji, jak i tzw. kompetencje miękkie.
Method of calculating the final grade:

Ocena seminarium 100%

Sposób i tryb wyrównywania zaległości powstałych wskutek nieobecności studenta na zajęciach:

Opracowanie jednej z technik otrzymywania tworzywa w postaci cienkich warstw i powłok. Przedstawienie prezentacji multimedialnej i ustnej na zadany temat w innym terminie.

Prerequisites and additional requirements:

Umiejętność pozyskiwania informacji w języku polskim i angielskim z literatury, baz danych i innych źródeł , dokonywanie ich interpretacji, formułowanie i uzasadnianie opinii dotyczących zadań inżynierskich, procesów otrzymywania warstw metodami chemicznymi i fizycznymi.
Umiejętność pracy w laboratorium, zaangażowanie podczas wykonywania ćwiczeń.

Recommended literature and teaching resources:

1.M.L.Hitchman, K.F. Jones; Chemical Vapour Deposition. Principles and Applications, Academic Press, 2003
2.M.J.Madou; Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro-and nanotechnology, CRC 2012
3.S.Jonas; Spójny model zjawisk transportu masy i reakcji chemicznych w procesie chemicznej krystalizacji z fazy gazowej. Ceramika 58, Kraków, 1990
4.S.Jonas, S.Kluska, E.Walasek; Modyfikacja mikrostruktury materiałów weglowo-grafitowych metodą PCVI. Ceramika/Ceramics, vol.67, 2001
5.F.Nadachowski, S.Jonas, K.Wodnicka; Zarys ceramografii. Ceramika/Ceramics, vol.82, Kraków, 2003
6.T.Stapiński; Struktury cienkowarstwowe:wybrane przykłady i zastosowania. AGH Uczelniane Wydawnictwa Naukowo-Dydaktyczne, Kraków, 2008
7.Aktualne artykuły i materiały z konferencji naukowych

Scientific publications of module course instructors related to the topic of the module:

1. S. Kluska, S. Jonas, E. Walasek, T. Stapiński, M. Pyzalski; Influence of SiC infiltration on some properties of porous carbon materials, J. Eur. Ceram. Soc. 23, 2003, 1509-1515
2. S. Kluska, K. Hejduk, K. Drabczyk, M. Lipiński; Optical properties and passivation effects of silicon nitride three layer stack deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition, Phys. Status Solidi A213, 2016, 1839-1847
3. B. Swatowska, S. Kluska, M. Jurzecka-Szymacha, T. Stapiński, K. Tkacz-Śmiech; The chemical composition and band gap of amorphous Si:C:N:H layers, App. Surf. Sci. 371, 2016, 91-95

Additional information:

None